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HEB/HIBシリーズ
電子ビーム、イオンビーム用電源
· 超低リップル、超高安定度
· 低い溫度係數(shù)(25ppm/℃、10ppm/℃も可)
· フローティング電源:4chまで、それぞれ外部コントロール、電圧?電流モニタ付
· グランド電源:1chそれぞれ外部コントロール、電圧?電流モニタ付
· さらに電源を追加した特注対応可
· RS-232C,485,422,GPIB,USBコントロール可
· 100kVまでさまざまな電圧可
Ch.Name |
レベル |
出力 |
|
電圧 |
電流 |
||
Filament |
フローティング |
+2V、+8Vなど |
3A、5Aなど |
Suppressor |
フローティング |
-1kV、-2kVなど |
50μA、100μAなど |
Extractor |
フローティング |
+5kV、+10kV、-10kVなど |
500μA、300mAなど |
Focus |
フローティング |
+2kV、+5kVなど |
50μA、1000μAなど |
Acc |
グランド |
-10kV、-30kV、+40kVなど |
100μA、500μAなど |
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